Es la sigla de Micro-Electro-Mechanical-Systems y describe una tecnología de dispositivos electrónicos microscópicos que integran en una sola estructura sistemas mecánicos y semiconductores para obtener dispositivos complejos. Usualmente consisten en una unidad central tipo ASIC que procesa los datos que producen uno o más microsensores que interactúan con el ambiente exterior, permitiendo detectar fuerzas como por ejemplo el electromagnetismo.
Algunos modelos prácticos de los MEM S son los acelerómetros, los giroscopios, los micro-resonadores y los micro-espejos digitales y que se usan actualmente en una variedad de aplicaciones.